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20世紀(jì)中期以后，隨著自動(dòng)控制理論的產(chǎn)生和自動(dòng)控制技術(shù)的成熟，以A /D (數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換)環(huán)節(jié)為基礎(chǔ)的數(shù)字式儀器得到快速發(fā)展。

伴隨著計(jì)算機(jī)、通訊、軟件和新材料、新技術(shù)等的快速發(fā)展與成熟，人工智能、在線測(cè)控成為可能，使儀器走向智能化、虛擬化、網(wǎng)絡(luò)化。

數(shù)字儀器、智能儀器、個(gè)人計(jì)算機(jī)儀器、虛擬儀器和網(wǎng)絡(luò)儀器代表了20世紀(jì)現(xiàn)代科學(xué)儀器發(fā)展的主流與方向。

十二五”期間工信部已把傳感器及智能化儀器儀表擺到推動(dòng)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的重要位置，在工信部相關(guān)資源中對(duì)傳感器及智能化儀器儀表的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化予以支持。

數(shù)字化是智能儀器、個(gè)人儀器和虛擬儀器的基礎(chǔ)，是計(jì)算機(jī)技術(shù)進(jìn)入測(cè)量?jī)x器的前提。廣泛應(yīng)用于電子數(shù)字計(jì)算機(jī)、數(shù)控技術(shù)、通訊設(shè)備、數(shù)字儀表等方面，諸如人類(lèi)第一臺(tái)電子數(shù)字計(jì)算機(jī)ENIAC，愛(ài)思達(dá)金相顯微鏡，體視顯微鏡，X光檢查機(jī)等。

智能儀器

智能儀器是把一個(gè)微型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)嵌入到數(shù)字式電子測(cè)量?jī)x器中而構(gòu)成的獨(dú)立式儀器。

嵌入的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可以是芯片級(jí)，如單片機(jī)、數(shù)字信號(hào)處理(Digital Signal Processing,DSP)等，模板級(jí)如PC - 4。也可以是系統(tǒng)級(jí)，如微型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，可編程單芯片系統(tǒng)( System on a ProgrammableChip,SOPC)等。

智能儀器在結(jié)構(gòu)上自成一體，有的儀器內(nèi)部還帶有專用的微型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和通用接口總線( General Purpose Interface Bus,GP IB)接口，能獨(dú)立完成測(cè)試。智能儀器由于引入了計(jì)算機(jī)，功能強(qiáng)大，性能優(yōu)異，使用靈活、方便，是現(xiàn)階段高檔電子儀器的主體。如離子污染測(cè)試儀，上PIN機(jī)，雙盤(pán)研磨機(jī)，剝離強(qiáng)度測(cè)試儀，拉脫強(qiáng)度測(cè)試儀等都采用智能技術(shù)的現(xiàn)代化精密檢測(cè)儀器，又比如納米智能機(jī)器人。